A、金相分析儀器外表擦拭步驟：
　　1.先用干細(xì)棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心注意其儀器外表勿受傷。
　　2.再用干凈細(xì)干棉布沾上工業(yè)用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面。
　　B、金相分析儀器花崗巖表面擦拭步驟：
　　1.先用干細(xì)棉布或擦拭紙擦拭花崗巖表面，以擦拭其灰塵或測量后機(jī)件遺留的油污等。
　　2.再用干凈細(xì)干棉布沾上工業(yè)用酒精，擦拭花崗巖外表面，酒精具揮發(fā)性會自然蒸發(fā)。
　　3.必要時，可使用花崗巖專用保養(yǎng)油再擦拭。
　　C、金相分析儀器鏡面擦拭步驟：
　　1.先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面。
　　2.再用棉花棒沾工業(yè)用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發(fā)后，再裝回去。
　　3.鏡面擦拭可區(qū)分成校正玻璃片及鏡頭內(nèi)透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點(diǎn)，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結(jié)果。
　　D、金相分析儀器傳動部分：分干磨擦部分及潤滑部分，干磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲桿傳動機(jī)構(gòu)之區(qū)分。